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EUV熱賣 ASML或將登頂IC設備市場
2019-12-13 悉恩悉機床網



  近日,TIN調研公司總裁羅伯特·卡斯特拉諾預測,全球半導體設備龍頭應用材料公司2019年有可能失去其蟬聯多年的龍頭寶座,讓位給光刻機大廠荷蘭阿斯麥(ASML)公司。應用材料自從1992年超過日本東電電子成為全球最大半導體設備制造商后,就一直占據這個位置。ASML則由于開發極紫外光刻機(EUV)的成功,成為7nm及以下半導體制造過程中不可或缺的設備,受到市場追捧。兩家設備大廠到底孰強孰弱?ASML真能如羅伯特·卡斯特拉諾預測般超過應用材料登頂半導體設備市場?

  應用材料與ASML哪個第一?

  羅伯特·卡斯特拉諾表示,過去三年之中,ASML可謂出盡風頭,EUV光刻機被幾大芯片制造巨頭爭搶。根據其統計,2018年ASML在全球半導體設備市場份額為18%,2019年上升到21.6%。而半導體設備傳統霸主應用材料,在2018年的市場份額為19.2%,今年小幅增長到了19.4%。因此,如果這一預測和統計成真,ASML將超過應用材料,登上全球半導體設備供應商第一名的寶座。羅伯特·卡斯特拉諾還預測2020年的市場。基于2020年半導體制造商計劃的資本支出情況,ASML市場份額將提高到22.8%,應用材料將保持19.3%的份額。這意味著ASML還將蟬聯龍頭寶座至明年。

  就這一預測,半導體專家莫大康認為,應用材料是產品線最全的半導體設備供應商,應用材料善于并購,通過一系列并購,加強著自身的實力。這也使得其產品線變得很寬,涵蓋了半導體制造的數十種設備,包括物理氣相沉積設備(PVD)、化學氣相沉積設備(CVD)、平坦設備(CMP)、原子層沉積設備(ALD)、離子注入機、刻蝕機、快速熱處理設備(RTP),以及晶圓檢測設備等。除PVD和CMP占據全球最大市場份額外,其他設備并非最強,卻也擁有不弱的實力。應用材料憑借相對全面的產品線,長期穩坐在半導體設備第一供應商的位置。不過2019年半導體偏于下滑,這也使得應用材料業績不甚理想。2019財年,應用材料實現營收146.10億美元,凈利潤27億美元,同比減少了11%。

  相對而言,ASML一直專注于光刻機的開發。據Gartner統計,2018年,該公司在全球光刻機市場中的份額達到76%。特別ASML是唯一一家能夠提供EUV光刻機的設備廠商,而7nm及更先進制程工藝對該種設備的依賴度非常高,英特爾、臺積電和三星三家芯片制造巨頭均需要采購ASML的EUV設備。未來EUV的使用范圍還將從先進邏輯工藝,逐漸擴展到存儲器方面。這樣其使用量還將大大增加。

  因此,莫大康認為,以這樣的發展態勢來看,ASML超過應用材料,在2020年成為半導體設備廠商首位的可能性是很大的。然而,就此認為ASML強于應用材料又是不準確的。“應用材料和ASML,一個全面均衡,一個專注優勢。在當前的時間節點下,似乎有利于ASML的優勢發揮。但是,應用材料也有其優勢的地方。”莫大康說。

  一代設備一代工藝,中國如何做強?

  無論今年設備龍頭寶座會否變化,卻可以看出設備廠商與半導體互動越來越緊密,作用越來越突出。正如應用材料中國公司首席技術官趙甘鳴在此前接受記者采訪時指出,隨著摩爾定律的放緩,半導體產業正面臨全新的技術變革,需要最底層的材料工程技術的發展,提供強有力的支撐。

  半導體行業素有一代設備,一代工藝,一代器件的說法。從上世紀80年代末期開始,半導體設備企業便致力于工藝的開發,將工藝能力整合到設備中,也就是設備廠在做制造廠的工作,讓制造廠買到設備就能保證使用,并且達到工藝要求。從這個意義上看,說設備的發展決定了器件和工藝的進步并不為過。可也正因為這種情況的出現,對于中國半導體設備企業的發展來說也就提出了更高的要求。

  對此,莫大康指出,一臺設備從研發、樣機開始,必須經過大量硅片通過等工藝試驗,才能發現問題,并進行改型。這樣的過程要重復多次,改型多次,才能最后定型。并且出廠前要經過馬拉松試驗,測算平均無故障時間等。這對實力尚弱的國產設備廠商來說,將是一個巨大的挑戰。

  近年來為了扶持設備業發展,國家出臺政策給予支持。雖然我國半導體設備的市場需求量非常大,但是國內設備業發展仍然是一個短板。SEMI的統計數據顯示,2018年全球半導體制造設備銷售總額達645億美元。中國大陸半導體設備市場首度以131.1美元超越中國臺灣地區,居全球第二,但半導體設備廠商營收全球占比仍處于個位數級別。

  盛美半導體董事長、首席執行官王暉指出,半導體設備制造是一個門檻很高的行業,不僅技術高度密集,廠商需要掌握嚴密的IP,而且產品售出之后還有大量后續服務需要做好。如果售價被壓得過低,勢必會大幅壓低設備企業的利潤空間。短期內用戶企業雖然可能獲利,但是勢必會影響到后續服務的進行。而且設備行業高度競爭,企業必須保證對每一代技術的持續跟進,保持技術的領先性。這就需要持續進行投入,而過低的獲利,將導致企業無力跟進技術的進步。

  王暉認為,對于國產設備業者來說,最佳的解決之道就是做產品的差異化技術開發,而不是僅憑低價格來爭取訂單。“面對同一個應用,同一個技術挑戰,你要比大公司做得好,就要尋求差異化的解決方法,否則就很難超過大公司。”在王暉看來,從技術創新的角度,小公司未必會輸給大公司,反而因為其靈活性及高效率,而更容易做出突破性的技術。以點帶面,從點上取得突破,方是國產設備企業長期持續的成長之道。

  莫大康則指出,設備廠一定要有全球化的視野,不可能只盯著中國市場。要想全球化,產品設備的性能指標要面向國際一流水準。中微的設備之所以能打入臺積電生產線,正是因為其國際化的眼光和市場化的手段。

來源:中國電子報

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